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高质量晶圆级CVD制备
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可控制备
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二维材料光电器件
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高质量晶圆级CVD制备
二维材料 • 可控制备
二维材料的高质量与晶圆级可控制备
聚焦新型二维材料的晶体质量、单晶尺度扩展与层间界面调控,构建可规模化制备体系。
1. 晶体质量与缺陷调控
精确调控二维材料的缺陷密度与晶体质量
揭示缺陷对电学、光学性能的影响机制
2. 大面积晶圆级单晶制备
研究外延衬底对二维材料晶相一致性的作用机理
实现大面积、晶圆级单晶二维薄膜的可控制备
3. 表界面作用与层厚堆叠控制
探索二维材料/衬底表界面相互作用及层间耦合机理
实现二维范德华材料层数厚度与堆叠方式的精准控制